美國SMI微壓傳感器55系列介紹
SiliconMicrostructuresIncorporatec公司簡稱SMI，專業(yè)生產(chǎn)各種硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器，產(chǎn)品廣泛用于汽車制造、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)。SMI不僅設(shè)計、生產(chǎn)各類微壓傳感器，并且提供集成化傳感器和基于MEMS的傳感器系統(tǒng)代工服務(wù)。

作為高性能硅壓力傳感器和加速計的專業(yè)生產(chǎn)廠家，SMI成立于1991年。起初公司專業(yè)生產(chǎn)硅低壓傳感器，該產(chǎn)品精度至今仍為同類產(chǎn)品的20倍以上，如今SMI已擁有眾多系列的硅微結(jié)構(gòu)傳感器，為各類OEM客戶提供質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品。2001年4月該公司被專門生產(chǎn)汽車用ASIC的Elmos半導(dǎo)體公司收購。通過集成Elmos的ASIC技術(shù)和SMI的6英寸晶圓生產(chǎn)工藝，推出高性能、系統(tǒng)化、低價位的新一代完整片上系統(tǒng)微結(jié)構(gòu)傳感器。2002年8月SMI收購了ICSensors的晶圓部，03年SMI設(shè)計出新型6英寸晶圓生產(chǎn)設(shè)備，該設(shè)備擁有*深度離子刻蝕(DRIE)和等離子焊接能力。

美國SMI廉價的壓阻式、超低壓傳感器成功的關(guān)鍵是它的創(chuàng)新的物理刻蝕設(shè)計。一般來說,硅微壓力傳感器芯片采用扁平膜來測量壓力。SMI傳感器芯片采用三維膜片結(jié)構(gòu),用硅刻蝕工藝將產(chǎn)生的應(yīng)力(壓力)集中在傳感電阻處。這樣在保持總體精度和線性度的同時仍有很高的靈敏度。80%的應(yīng)力傳遞到膜片中的梁式區(qū)域,而膜片丟失的應(yīng)力只有20%。

除了壓阻器所處的四周外，膜片的所有部分都減薄，從而得到膜片的浮凸結(jié)構(gòu)。由于傳感器看起來象機械力放大器，因而便于把膜片運動的應(yīng)力集中在壓阻器上，增加的應(yīng)力極大地提高了信號輸出，膜片上的浮凸用做終止層。四周的薄膜有效地將器件密封起來。因此壓力不會前后移動。此外，在器件的結(jié)構(gòu)內(nèi)，離子注入電阻形成壓阻式惠斯登電橋，凹坑減少了器件的總震動質(zhì)量。

主要型號：
51系列、53系列、54系列、55系列、56系列
5102、5103、5106、5108、5112、SM5103、SM5106、SM5108、SM5112、SM53、SM54、SM5350、SM5450、SM5501、SM5502、SM5551、SM5552、SM5611、SM5651、SM5310、SM5410、SM5852、SM5812、SM5822

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